2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

15．結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[19p-PB6-1~26] 15.4 III-V族窒化物結晶

2014年9月19日(金) 16:00 〜 18:00 PB6 (第2体育館)

ポスター掲示時間16:00～18:00(PB6会場)

16:00 〜 18:00

[19p-PB6-10] 金属マスクを用いた昇華法AlNの選択成長

○袴田涼馬1，本田善央1，天野浩1,2 (名大院工1，赤崎記念研究センター2)

キーワード：AlN,sublimation,selective area growth