[19p-PB6-1~26] 15.4 III-V族窒化物結晶

[19p-PB6-15] 加圧MOVPE法を用いた半極性面上 InGaN/GaN 多重量子井戸の成長

^○田村彰^1,2，本田善央^1,2，天野浩^1,2 (名大院工¹，赤崎記念研究センター²)

キーワード：MOVPE,半極性面