[19p-PB6-1~26] 15.4 III-V族窒化物結晶

[19p-PB6-19] Si濃度の異なるAl_0.61Ga_0.39N混晶薄膜のカソードルミネッセンス法による局所スペクトル評価

^○倉井聡¹，三宅秀人²，平松和政²，山田陽一¹ (山口大院理工¹，三重大院工²)

キーワード：AlGaN,カソードルミネッセンス,アロイブロードニング