Detail Study on Lattice Deformation and Recovery of GaN by Mg-ion-implantation and the Subsequent Thermal Annealing

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

15．結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

2014年9月19日(金) 16:00 〜 18:00 PB6 (第2体育館)

ポスター掲示時間16:00～18:00(PB6会場)

16:00 〜 18:00

^○（DC）孫政¹，マークオールソン¹，呂迪¹，永山勉³，渡邊哲也⁴，本田善央¹，天野浩^1,2 (Nagoya Univ.¹，Akasaki Research Center²，Nissin Ion Equipment Co., Ltd.³，Nissin Electric Co., Ltd.⁴)

キーワード：GaN