4:00 PM - 6:00 PM
▼ [19p-PB6-7] Study on Homo-Epitaxial Growth of GaN by Radical-Enhanced Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (REMOCVD)
Keywords:ラジカル励起MOCVD,窒化ガリウム,ホモエピタキシャル成長
Poster presentation
15. Crystal Engineering » 15.4 III-V-group nitride crystals
Fri. Sep 19, 2014 4:00 PM - 6:00 PM PB6 (Gymnasium2)
ポスター掲示時間16:00~18:00(PB6会場)
4:00 PM - 6:00 PM
Keywords:ラジカル励起MOCVD,窒化ガリウム,ホモエピタキシャル成長