16:00 〜 18:00
△ [19p-PB7-1] パワーデバイス用結晶の評価(Ⅵ) Siエピタキシャルウエハ中のミスフィット転位の透過電子顕微鏡による評価(2)
キーワード:エピタキシャルウエハ,ミスフィット転位,透過電子顕微鏡
一般セッション(ポスター講演)
15.結晶工学 » 15.8 結晶評価,不純物・結晶欠陥
2014年9月19日(金) 16:00 〜 18:00 PB7 (第2体育館)
ポスター掲示時間16:00~18:00(PB7会場)
16:00 〜 18:00
キーワード:エピタキシャルウエハ,ミスフィット転位,透過電子顕微鏡