2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

15.結晶工学 » 15.8 結晶評価,不純物・結晶欠陥

[19p-PB7-1~6] 15.8 結晶評価,不純物・結晶欠陥

2014年9月19日(金) 16:00 〜 18:00 PB7 (第2体育館)

ポスター掲示時間16:00~18:00(PB7会場)

16:00 〜 18:00

[19p-PB7-1] パワーデバイス用結晶の評価(Ⅵ) Siエピタキシャルウエハ中のミスフィット転位の透過電子顕微鏡による評価(2)

川本光太1,永井哲也2,野網健吾2,中居克彦2,二木登史郎2,山本秀和1 (千葉工大工1,日鉄住金テクノロジー2)

キーワード:エピタキシャルウエハ,ミスフィット転位,透過電子顕微鏡