[19p-S10-1~18] 8.4 プラズマエッチング

[19p-S10-1] 「講演奨励賞受賞記念講演」（15分）フルオロカーボンガスを用いたLaAlSiO_xの対Si高選択エッチング(15分)

^○松田和久，佐々木俊行，大村光広，酒井伊都子，林久貴 (東芝 S&S社)

キーワード：LaAlSiOx,ドライエッチング,フルオロカーボンガス