2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

08.プラズマエレクトロニクス » 8.4 プラズマエッチング

[19p-S10-1~18] 8.4 プラズマエッチング

2014年9月19日(金) 14:15 〜 19:00 S10 (S10)

17:00 〜 17:15

[19p-S10-11] HBr/O2プラズマへのCl2添加によるプラズマプロセスダメージ

叶丸孝治,野尻康弘,尾上誠司,新村忠 (東芝 生産技術センター)

キーワード:プラズマ誘起ダメージ