[19p-S10-1~18] 8.4 プラズマエッチング

△ [19p-S10-13] 透明電極材料エッチングにおけるCH+及びCH3+照射による化学的効果の解析

^○李虎¹，唐橋一浩¹，深沢正永²，長畑和典²，辰巳哲也²，浜口智志¹ (阪大院工¹，ソニー²)

キーワード：Etching,ITO,ZnO