[19p-S10-1~18] 8.4 プラズマエッチング

△ [19p-S10-2] ミニマルファブ用TSVプラズマエッチング装置の原理実証

^○本村大成^1,2，高橋和貴³，笠嶋悠司¹，菊永和也¹，上杉文彦¹，安藤晃³，猿渡新水¹，田中宏幸²，清水禎樹^1,2，中野禅^1,2，小木曽久人^1,2，ソマワン クンプアン^1,2，原史朗^1,2 (産総研¹，ミニマルファブ技術研究組合²，東北大³)

キーワード：プラズマエッチング,ミニマルファブ,TSV