[19p-S10-1~18] 8.4 プラズマエッチング

[19p-S10-4] 高速・高精度基板温度センサとパルス放電による基板温度制御

^○（DC）堤隆嘉¹，福永祐介¹，石川健治¹，竹田圭吾¹，近藤博基¹，太田貴之²，伊藤昌文²，関根誠¹，堀勝¹ (名大院工¹，名城大理工²)

キーワード：基板,温度,制御