[19p-S8-1~5] 8.1 プラズマ生成・制御

△ [19p-S8-2] 大面積マイクロ波プラズマの円筒キャビティ励起の最適化

^○（B）長谷川雄一¹，小川大輔¹，中村圭二¹，小林理²，菅井秀郎³ (中部大工¹，アプライドマテリアルズ²，名産研³)

キーワード：マイクロ波プラズマ,円筒キャビティ,FDTDシミュレーション