[19p-S8-1~5] 8.1 プラズマ生成・制御

[19p-S8-3] RFマグネトロンスパッタにおける負のDCカソードバイアス印加の効果(2)

^○大須賀康平¹，進藤春雄¹，磯村雅夫^1,2 (東海大院工¹，東海大工²)

キーワード：プラズマ,スパッタ,DCバイアス