2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

08.プラズマエレクトロニクス » 8.1 プラズマ生成・制御

[19p-S8-1~5] 8.1 プラズマ生成・制御

2014年9月19日(金) 13:15 〜 14:30 S8 (S8)

14:15 〜 14:30

[19p-S8-5] 3次元ハイブリッド粒子/流体法によるイオン源プラズマ数値シミュレーション(1)

宮下大,衞藤晴彦,青木康,加藤隆典 (住友重機)

キーワード:Hybrid Particl/Fluid model,Ion Source