[19p-S9-1~5] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[19p-S9-1] プラズマインジケータ（１）：プラズマ雰囲気下における無機酸化物の変色性とプラズマ診断

^○山川裕^1,2，宮崎裕司¹，釆山和弘¹，井上浩¹，清水雅弘²，西正之²，平尾一之² (サクラクレパス¹，京大院工²)

キーワード：プラズマ診断,ラジカル,インジケータ