[19p-S9-1~5] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[19p-S9-5] Si, Al₂O₃基板へのArプラズマの影響

^○關雅志¹，田沼千秋² (東芝テック¹，法政大²)

キーワード：Arプラズマ