[20a-A12-1~10] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[20a-A12-6] a面GaNテンプレート上ZnO膜における酸素分圧効果

^○（PC）原田善之^1,2，鈴木摂²，知京豊裕^1,2，角谷正友¹ (物材機構¹，コメット²)

キーワード：ZnO薄膜,非極性a面,GaNテンプレート