[20a-A13-1~8] 7.4 ナノインプリント

△ [20a-A13-5] 熱ナノインプリント法による非晶質材料表面へのシングルナノパターン転写

^○船迫友之¹，野沢靖久¹，譚ゴオン¹，三田正弘²，金子智^1,3，松田晃史¹，吉本護¹ (東工大¹，協同インターナショナル²，神奈川県産技セ³)

キーワード：熱ナノインプリント,ナノパターン