[20a-A19-1~12] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[20a-A19-1] 局所クリーン化ミニマルPLADエア循環システム（Ⅲ）

^○谷島孝¹，飯田健次郎^1,2，安井政治¹，ソマワン クンプアン^1,2，前川仁^1,2，原史朗^1,2 (ミニマルファブ技術研究組合¹，産総研²)

キーワード：minimal fab