[20a-A19-1~12] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[20a-A19-10] ミニマルスパッタ装置におけるAｌ薄膜の成膜性(Ⅱ)

^○加藤旭彦^1,3，小木曽久人^1,2，中野禅^1,2，薮田勇気³，ソマワン クンプアン^1,2，原史朗^1,2 (ミニマルファブ技術研究組合¹，産総研²，誠南工業³)

キーワード：ミニマルファブ