[20a-A19-1~12] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[20a-A19-2] 必要最小限の薬液を使用したスピン現像の効果

^○奥田修史¹，武内翔^1,2，扇子義久^1,2，ソマワン クンプアン^1,3，原史朗^1,3 (ミニマルファブ¹，リソテック²，産総研³)

キーワード：現像,ミニマル,表面張力