2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[20a-A19-1~12] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2014年9月20日(土) 09:00 〜 12:15 A19 (E311)

10:15 〜 10:30

[20a-A19-6] ミニマル抵抗加熱炉で形成した熱酸化膜の電気的特性(Ⅱ)

中戸克彦1,居村史人1,浅野均1,鈴木真之佑1,3,松田祥吾1,3,柳沼綾美1,3,森川清彦1,3,服部昌1,3,池田伸一1,2,クンプアン ソマワン1,2,原史朗1,2 (ミニマルファブ技術研究組合1,産総研2,光洋サーモシステム3)

キーワード:ミニマル