[20a-A19-1~12] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[20a-A19-8] マイクロプラズマを用いたエッチングプロセス（Ⅲ）

^○田中宏幸¹，清水禎樹^1,2，小木曽久人^1,2，中野禅^1,2，新堀俊一郎³，加藤木真紀³，高橋賢³，白山裕也³，横須賀俊太郎³，ソマワン クンプアン^1,2，原朗^1,2 (ミニマルファブ¹，産総研²，三友製作所³)

キーワード：ミニマル,マイクロプラズマ