[20a-A20-1~15] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[20a-A20-1] シリコン結晶の高感度赤外吸収と赤外欠陥動力学（8）真正点欠陥とその複合体の検出の検討

^○井上直久^1,5，後藤安則²，関洋文³，渡邉香⁴，河村裕一⁵ (東京農工大¹，トヨタ自動車²，東レリサーチセンター³，システムズエンジニアリング⁴，大阪府立大⁵)

キーワード：シリコン,赤外吸収,点欠陥