[20a-A20-1~15] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

△ [20a-A20-12] 炭素クラスターイオン照射によるSiウェーハの近接ゲッタリング -水素の拡散挙動と照射欠陥の形成に与える影響-

^○奥山亮輔，門野武，岩永卓朗，古賀祥泰，奥田秀彦，栗田一成 (SUMCO)

キーワード：Gettering,欠陥,水素