[20a-A20-1~15] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[20a-A20-13] 軽元素イオン注入によるSiウェーハ中の遷移金属に対する近接ゲッタリング効果(2)

^○古賀祥泰，栗田一成 (SUMCO)

キーワード：炭素，水素，注入，ゲッタリング，シリコン．