[20a-A20-1~15] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[20a-A20-14] Siウェーハ中の固溶酸素が3点曲げ変形の転位分布に及ぼす影響

^○日髙洋美，荒木延恵，堀川智之，宮下守也 (グローバルウェーハズ・ジャパン)

キーワード：Si