[20a-A20-1~15] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[20a-A20-4] CZSi結晶内の引き上げ速度に依存した点欠陥分布の融液からの切り離しによる観察

^○阿部孝夫¹，高橋徹¹，白井光雲²，張小威³ (信越半導体¹，阪大産研²，高エネ研³)

キーワード：点欠陥,シリコン結晶