10:30 〜 10:45
[20a-A20-7] シリコン中の空孔濃度に及ぼす不純物効果の検討
キーワード：VH4欠陥,不純物効果,Si結晶
講演情報
一般セッション(口頭講演)
15．結晶工学 » 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥
[20a-A20-1~15] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥
2014年9月20日(土) 09:00 〜 13:00 A20 (E312)
一般セッション(口頭講演)
15．結晶工学 » 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥
2014年9月20日(土) 09:00 〜 13:00 A20 (E312)
10:30 〜 10:45
キーワード：VH4欠陥,不純物効果,Si結晶