[20a-A20-1~15] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

△ [20a-A20-9] Si同位体周期構造を用いたend-of-range欠陥に起因する歪みによるSi自己拡散増速の観測

^○磯田大河，植松真司，伊藤公平 (慶大理工)

キーワード：TED,増速拡散,EOR defect