[20a-A22-1~6] 11.4 アナログ応用および関連技術

[20a-A22-6] Ti/TiN積層膜を用いた力学インダクタンス検出器の開発

^○西村欣大郎¹，美馬覚²，成瀬雅人¹，田井野徹¹，明連広昭¹，大谷知行^2,3，田島治⁴ (埼大院¹，理研²，東北大院³，KEK⁴)

キーワード：超伝導,窒化チタン,力学インダクタンス検出器