2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

14．半導体B（探索的材料・物性・デバイス） » 14.1 探索的材料物性

[20a-A27-1~10] 14.1 探索的材料物性

2014年9月20日(土) 09:00 〜 11:45 A27 (N302)

09:00 〜 09:15

△ [20a-A27-1] スパッタエッチングによるMg2Si結晶中のAg熱拡散深さの評価

○堀信彦1，江坂文孝2，鵜殿治彦1 (茨城大院1，原子力機構2)

キーワード：半導体,熱拡散