2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

14.半導体B(探索的材料・物性・デバイス) » 14.1 探索的材料物性

[20a-A27-1~10] 14.1 探索的材料物性

2014年9月20日(土) 09:00 〜 11:45 A27 (N302)

09:45 〜 10:00

[20a-A27-4] Mg2Si薄膜の固相成長中の熱処理雰囲気が膜質に与える影響

○(M2)橋本哲弥,原英樹,勝俣裕 (明大理工)

キーワード:Mg2Si