[20a-PA3-1~7] 13.2 絶縁膜技術

[20a-PA3-3] シリコン窒化膜の常磁性欠陥に対する熱処理の効果(Ⅲ)

^○（M2）鈴木亜嵐¹，永島大樹²，林宏紀²，小林清輝^1,2 (東海大院工¹，東海大工²)

キーワード：シリコン窒化膜,常磁性欠陥,ESR