[20a-PA3-1~7] 13.2 絶縁膜技術

[20a-PA3-6] High-k/ High-k界面におけるダイポール形成の可能性の検討

^○橋口誠広¹，志村昂亮¹，功刀遼太¹，知京豊裕³，小椋厚志^4,6，佐藤真一^5,6，渡邉孝信^1,2,6 (早大理工¹，早大ナノ機構²，物材機構³，明大理工⁴，兵庫県立大⁵，JST-CREST⁶)

キーワード：high-k, dipole