[20a-S9-1~11] 8.5 プラズマナノテクノロジー

[20a-S9-10] 酸素プラズマエッチングによるDLCナノ構造体形成における基材膜質の影響

^○針谷達¹，安岡佑起¹，古田寛^1,2，八田章光^1,2 (高知工科大¹，高知工科大ナノテクセンター²)

キーワード：DLC,エッチング,ナノ構造