2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

08.プラズマエレクトロニクス » 8.5 プラズマナノテクノロジー

[20a-S9-1~11] 8.5 プラズマナノテクノロジー

2014年9月20日(土) 09:00 〜 12:00 S9 (S9)

09:15 〜 09:30

[20a-S9-2] 大気圧Ar/NH3プラズマプロセスによるN2H4を用いた銀粒子パターンの作製

木原直也,平岡悠,酒井道 (京大院工)

キーワード:銀粒子,hydrazine,自己組織化