[20a-S9-1~11] 8.5 プラズマナノテクノロジー

[20a-S9-8] RF6kW小型熱プラズマ装置を用いたSiの窒化

^○蔦川生璃，三澤啓一，飯島善時，小牧久 (日本電子)

キーワード：熱プラズマ,窒化