1:00 PM - 1:15 PM
[20p-A13-1] Fabrication of high aspect Si patterns from micron to nano size linewidths
Keywords:ナノインプリント,Siモールド
Oral presentation
07. Beam Technology and Nanofabrication » 7.4 Nanoimprint
Sat. Sep 20, 2014 1:00 PM - 3:00 PM A13 (E304)
1:00 PM - 1:15 PM
Keywords:ナノインプリント,Siモールド