[20p-A13-1~8] 7.4 ナノインプリント

[20p-A13-1] 高アスペクト比Siパターンの作製 –ミクロンからナノサイズまで-

^○川田博昭，下向主真，安田雅昭，平井義彦 (大阪府大)

キーワード：ナノインプリント,Siモールド