2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

07.ビーム応用 » 7.4 ナノインプリント

[20p-A13-1~8] 7.4 ナノインプリント

2014年9月20日(土) 13:00 〜 15:00 A13 (E304)

14:45 〜 15:00

[20p-A13-8] ナノインプリント法により作製したランダム回折素子の評価

中村嘉孝,稲田安寿,橋谷享,平澤拓 (パナソニック)

キーワード:ナノインプリント,Nanoimprint