[20p-A17-1~8] 15.1 バルク結晶成長

[20p-A17-4] 育成結晶形状に対するIR-FZ法における集光鏡の移動効果

^○綿打敏司^1,2，エムディー ムクタール ホサイン¹，長尾雅則¹，田中功¹ (山梨大院クリスタル研¹，JST-さきがけ²)

キーワード：浮遊帯溶融法,結晶成長,シリコン