[20p-A4-1~8] 12.4 有機EL・トランジスタ

[20p-A4-4] 電荷変調イメージング法による有機薄膜トランジスタアレイの欠陥検査

^○堤潤也¹，松岡悟志¹，山田寿一¹，長谷川達生^1,2 (産総研¹，東大工²)

キーワード：トランジスタアレイ,欠陥検査,イメージング