2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

08.プラズマエレクトロニクス » 8.5 プラズマナノテクノロジー

[20p-S9-1~5] 8.5 プラズマナノテクノロジー

2014年9月20日(土) 13:00 〜 14:15 S9 (S9)

13:15 〜 13:30

[20p-S9-2] 高周波マグネトロンプラズマCVDによるグラフェンの成長

佐野和也,林康明 (京都工繊大工芸科学)

キーワード:グラフェン