[17a-F3-1~6] 7.5 ビーム・光励起表面反応

△ [17a-F3-4] Ti含有DLC膜の原子状酸素照射への耐性

^○貴傳名健悟¹，遠藤みなみ¹，今井亮¹，新部正人¹，横田久美子²，田川雅人²，古山雄一³，小松啓志⁴，齋藤秀俊⁴，神田一浩¹ (兵庫県立大高度研¹，神戸大院工²，神戸大院海事³，長岡技科大⁴)

キーワード：DLC