[18a-E5-1~8] 15.6 IV族系化合物

△ [18a-E5-2] 熱力学および速度論的知見に基づく低界面欠陥密度4H-SiC(0001) MOSの実現

^○菊地リチャード平八郎¹，喜多浩之^1,2 (東大院工¹，JST さきがけ²)

キーワード：熱酸化膜,電気特性,SiC