[18p-PG10-1~7] 9.3 ナノエレクトロニクス

△ [18p-PG10-3] 微細構造形成に向けたエレクトロマイグレーションによる細線破断過程の解析

^○（D）村上暢介，有田正志，髙橋庸夫 (北大院情報)

キーワード：エレクトロマイグレーション,ナノギャップ,透過型電子顕微鏡