2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

出展者情報

[At-3] 東京計器(株)

■プラズマ、加熱用途向け2.45GHz半導体発振器モジュール(50~2kW)、5.8GHz100W半導体発振器モジュール、915MHz300W半導体発振器モジュールおよびマイクロ波電源、システム。