2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

出展者情報

[Bt-5] (株)クレステック

■世界最高レベルの130kVという加速電圧を持つ新モデルCABL-UHシリーズを紹介します。また、抜群の簡易性、機能性を付加したポイントビーム型電子線描画装置CABL-9000Cを紹介、パネル展示します。加速電圧50kVでビームスポット2nm、最小線幅5.6mm、つなぎ精度10nm等の性能を実現します。
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    東京都八王子市大和田町1-9-2

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