出展者情報

[A-5] テガサイエンス(株)

■電子ビーム蒸着源、サーマルガスクラッカー、ナノクラスターソース、RFアトム／イオンソースなどの高性能な真空コンポーネントおよびシンプルでフレキシブルなデスクトップ型真空システム。